跟着台积电脚步...英特格砸1.8亿投资台湾
半导体材料商英特格今(31)日宣布将砸1.8亿元(约为600万美元),扩大台湾技术研发中心,以因应先进制程在量产、性能等需求,台湾区总经理谢俊安表示,英特格每年都会有9%的研发支出,客户在哪,英特格就在哪设据点,因为R&D速度都很快,只有更靠近客户才能快速跟着客户成长。
英特格分为三大事业群,包括特用化学品、特用气体事业群;气体、水的过滤和物体的移动所需载具事业群,谢俊安表示,公司同时有这三事业群,可提供客户更快速、整合性的解决方案。
这次投入的研发技术,主要是导入高灵敏度KLA SP3晶圆检测工具及相关设施,包含Class 10无尘室及ACT12涂布机在内,此外,还进一步扩建新竹厂房,用于化学机械研磨(CMP)过滤器的奈米熔喷(Nano Melt Blown)滤芯的产能。
由于台湾半导体朝向先进制程发展快速,晶圆厂内要高灵敏度晶圆缺陷检测需求也越来越高,英特格台湾技术研发中心所引进KLA SP3晶圆检测系统,也让英特格在台湾的晶圆检测能力扩展至19奈米。由于新检测工具导入,让公司得以自行产出晶圆缺陷的数据,以引进新产品开发及改善产品性能。
跟着全球半导体晶圆厂大客户都致力改善关键半导体制程,对于CMP过滤需求也日益增加,因此英特格扩大新竹厂的过滤器的奈米熔喷(NMB)滤芯产线,开发及提供更多的NMB产品,以协助客户精进制成,缩短上市时间,在市场取得先机。