工研院和英国牛津仪器合作 将创国际半导体新局

工研院与英国牛津仪器签署前瞻半导体量测技术联合实验室合作备忘录，英国在台办事处代表邓元翰（上排左起）、工研院副院长彭裕民、英国牛津仪器产品总监克里斯提安。（工研院提供／罗浚滨新竹传真）

台积电等半导体大厂抢进2奈米制程后，衍生尖端量测需求，经济部技术处协同英国在台办事处，日前共同促成工研院与英国牛津仪器签署前瞻半导体量测技术联合实验室合作备忘录（MOU），双方将规画整合共同研发能量，布局下世代半导体检测实力，联手将创国际半导体新局。

双方除了签约合作外，牛津仪器为展现全球领先的高科技设备开发实力，将研发的「AFM原子力显微镜」移至工研院联合实验室进行相关应用，可以快上10倍的速度，进行晶片结构关键尺寸检测，未来将应用在半导体三维结构的量测。

经济部技术处表示，牛津仪器是全球知名仪器设备制造跨国集团，先进产品与服务遍布全球，工研院则拥有全球领先的半导体先进量测技术，双方合作可加速国内前瞻半导体技术应用，发展更完整的半导体生态系统，将是半导体先进量测的里程碑。

英国在台办事处代表邓元翰指出，英国拥有牛津等数家世界领先的半导体公司，聚焦在超低功耗IC设计到复合半导体设计和生产，工研院是推动台湾半导体产业发展的重要推手，期待牛津仪器与工研院合作能创造出更多创新、协作与伙伴关系。

工研院副院长彭裕民表示，目前已针对微缩至2~3奈米晶片制程，开发前瞻性技术检测能力，这次与牛津仪器合作将为先进制程提供前瞻量测技术，建立工业量产良率监控的关键工具，期待可以加速双方及产业的技术进步，引领半导体产业迈向新的发展。

英国牛津仪器产品总监克里斯提安提到牛津仪器借由工研院深厚的检测能力，将针对下一代半导体的材料，打造出高精准量测仪器，期待这次双方合作，可以再激荡出令国际惊艳的半导体能量。