国科会建置原子针尖断层影像仪 突破半导体元件解析局限

国研院半导体中心公开原子针尖断层影像仪，建立研发平台培育更多半导体人才。（国科会提供／王惠慧新竹传真）

台湾半导体研究中心研究员林昆霖介绍原子尖针断层影像仪。（国科会提供／王惠慧新竹传真）

国研院半导体中心19日公开「原子针尖断层影像仪」（APT），半导体中心指出，此设备规格与目前国内业界齐平，也盼借此建立领域专家系统与研究服务平台平台，加速高阶技术人才培育与半导体物理突破。

国科会指出，次世代半导体元件持续演进，为提升元件积体密度必需将尺寸微缩化、材料异质化及结构立体化等，但也带来材料分析技术的全新挑战。

国科会说明，原子针尖断层影像仪（APT）是一种极致前瞻的（state-of-art）材料分析技术，能够解析材料或元件微观区域的三维原子分布，其空间解析度可达原子级，而其成分浓度侦测极限可达近20 ppm，APT已经被应用在材料、元件、地质、生物等物质的微观分析。

由于APT独特地整合了优异的空间解析度与成份侦测极限，使它成为次世代半导体元件研发之关键技术。此次APT建置代表台湾在半导体中材料分析技术上的一个跃进，也象征在半导体元件持续的演进的同时，台湾能有相对应的技术来进行材料分析。

国科会指出，本次公开的原子针尖断层影像仪系统，是台湾第一个公开的产学研合作研究平台，在国家的发展上，不仅对于半导体产业有所助益，更可扩展至多种前瞻应用材料，包含金属钢铁材料、光电材料、能源材料等方向。

APT系统与台湾大学、清华大学及阳明交通大学合作研发，不仅是未来半导体所需的关键材料分析技术，更将拓展前瞻材料发展的创新思维，同时也能成为材料科学人才培育的重点，次世代专业人才得以永续经营。