陆晶片制造设备技术大突破 「离子注入机」全谱系产品国产化
中国电子科技集团17日宣布，旗下装备子集团技术突破，已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，工艺段覆盖至28奈米，为大陆晶片制造产业链补上重要一环。
中国电子科技集团表示，该集团旗下装备子集团攻克系列「卡脖子」技术，已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，包括中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28奈米，为大陆晶片制造产业链补上重要一环，为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。
受到消息刺激，大陆晶片概念股17日盘中发力走高，帝科股份、易天股份、中晶科技、苏州固碍、首航高科等涨停，派瑞股份涨近12%，景嘉微、兆易创新涨幅超8%。
公开资料显示，离子注入机是高压小型加速器中的一种，它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，广泛用于掺杂工艺，可以满足浅结、低温和精确控制等要求，已成为集成电路（积体电路）制造工艺中必不可少的关键装备。