台积电刘德音：3奈米进度超前
台积电董事长刘德音受邀于2021年国际固态电路会议（ISSCC 2021）线上专题演说时，释出令人振奋消息，他说，台积电的3奈米制程按照计划时程发展，甚至比预期进度超前一些；因此他有信心看到未来节点将会如期而至。
受到疫情影响，今年的ISSCC改以全线上方式举行，于美国时间2月13日至22日举行。刘德音担纲开场演说，主题为「揭密创新未来」（Unleash the Future of Innovation），谈到许多引领半导体技术发展至今的创新，以及继续向前迈进的潜在途径。
刘德音表示，半导体制程微缩脚步并未减缓，积体电路的功耗、性能与电晶体密度仍在持续进步，台积电的3奈米制程按照计划时程发展，甚至比预期进度超前了一些；因此他有信心看到未来节点将会如期而至。
除了在制程节点上的超前，极紫外光微影（EUV）技术也是一大挑战。刘德音说，EUV因为能让制程过程中，使用较少层数的光罩，达到理想成本，但量产仍是个问题。此外，EUV功耗极大，台积电也为此取得350W照明光源技术突破，可支援5奈米量产、甚至到1奈米节点。