艾司摩尔：EUV产能飙到2025年

EUV概念股前三季营收表现

微影设备大厂艾司摩尔（ASML）20日召开法人说明会，预期逻辑制程及DRAM制程将加速导入极紫外光（EUV）微影技术，2022年EUV曝光机年产能将提升至55台，全球EUV产能进入成长爆发阶段，并且将一路创新高到2025年。

法人看好家登、帆宣、公准、意德士等EUV概念股营运同步看旺到2025年。

■EUV明年产能提升至55台

ASML公告第三季合并营收达52.41亿欧元，毛利率达51.7％，营业利益率36.6％，税后净利17.40亿欧元，每股净利4.27欧元，符合市场预期。第三季新增订单达62亿欧元，其中29亿欧元为0.33数值孔径EUV曝光机订单。ASML预期第四季营收介于49～52亿欧元，并达成2021年营收较去年成长35％目标。

ASML执行长Peter Wennink指出，新冠肺炎疫情持续加速数位转型，为解决晶片缺货问题，IDM厂、晶圆代工厂、记忆体厂均扩大投资提高产能，且投资项目聚集在先进制程产能，进一步推动逻辑IC及DRAM的EUV设备强劲需求。ASML今年EUV设备产能约达45～50台且供不应求，明年预期将提高至55台，且都将用于生产效率提升15％的新一代NXE: 3600D曝光机，新机台在客户晶圆厂每小时曝光产量（throughput）已达160片。

■全球疯EUV，家登受惠大

根据ASML召开分析师会议中资料，随着逻辑IC制程明年跨入3奈米世代，DRAM制程微缩至14奈米以下，单片晶圆EUV曝光光罩层数正在快速提升，ASML预估先进逻辑制程晶圆2021年EUV曝光层数平均已逾10层，至2023年将增加到逾20层，EUV曝光机台未来几年都会供不应求，EUV概念股营运看旺。

设备业者指出，台积电明、后两年会有5奈米及3奈米晶圆厂陆续进入量产，成为全球拥有最大EUV产能的半导体厂，至于英特尔、三星、SK海力士、美光等也开始积极扩建EUV产能，对于极紫外光光罩盒（EUV Pod）及晶圆传送盒采购量会大增，家登已获台湾、美国、韩国等大厂订单，营运成长动能持续增温。

由于ASML的EUV曝光机订单一路满到2025年，打进EUV曝光机零组件供应链的帆宣、公准、意德士等直接受惠。

其中，帆宣与ASML合作多年，并承接EUV雷射稳压模组代工订单，公准争挤身精密零组件供应商，意德士是EUV机台晶圆真空吸盘供应商。