ASM 推出 PE2O8碳化矽磊晶系統

半导体前端制程设备企业ASM在2024国际碳化矽与材料论坛上发布全新PE2O8碳化矽磊晶系统。这款双腔体碳化矽（SiC）磊晶 （Epi）平台旨在满足先进碳化矽功率元件领域的需求，具备低缺陷率、高制程稳定性，成为业界标竿。PE2O8具备更高的产量和较低的拥有成本，促进了碳化矽元件的更广泛应用。

随着全面电气化趋势推动更多功率元件制造商在越来越多高功率应用中（如电动车、绿能与先进资料中心）使用碳化矽 （SiC），对碳化矽的需求和降低成本的期望日益增强，这促使了6吋至8吋碳化矽基板的过渡。同时，碳化矽元件制造商正致力于设计更高功率的元件，这些元件将受益于更优质的碳化矽磊晶技术。

采用独特设计的PE2O8双腔体系统，透过极度精确的控制进行碳化矽沉积，实现了标竿级的高产量和更佳的生产率。其高度精密的双腔体设计不仅提升了生产效率，也有效降低整体营运成本。此外，该系统具备简便的定期维护方案，帮助提高设备的正常运行时间，并减少意外停机的发生。目前，该系统已持续交付给全球多个客户，其中包含碳化矽功率元件制造业的领导企业。

ASM企业副总裁兼PEALD及Epi事业部门总经理Steven Reiter表示，我们的客户正在从6吋晶圆过渡到8吋晶圆，所以我们正处于碳化矽功率产品的关键转折点。在更大尺寸的晶圆上提供高品质的磊晶制程并有效控制缺陷率至关重要，而我们凭借创新的腔体设计，一直作为业界制程稳定性的标竿。如今，我们扩展系统能力，进一步提升制程控制，并透过降低拥有成本为客户创造更多价值。

自2022年以来，ASM透过新的碳化矽磊晶产品部门，持续开发和精炼其单晶圆碳化矽磊晶系统。随着电动车需求结构性的增加，及碳化矽晶圆和元件整体产量的提升，碳化矽磊晶设备市场近年来大幅增长。