打造台湾3奈米关键材料基地 这集团强攻半导体最先进制程

长春集团在彰滨工业区线西区广大的土地上，筑起了一座座电子级化学品新厂房，如今已成为台积电南科3奈米制程最强后盾，未来也将会是二奈米制程不可或缺的军火库。(图/财讯提供)

根据《财讯》报导，1990年代，长春集团就在人家常说的「风头水尾」彰滨海岸湿地北段所规画的工业区，最早以每坪两万多元陆续购入5块土地。如今，这占地62公顷的大片土地，面积比亚利桑那州厂和麦寮厂都大上近一倍，已斥资逾4百亿元盖起「3奈米电子级化学品重镇」。

2022年底台积电位于南科18厂的3奈米制程正式启动量产之前，长春集团旗下长春石化彰滨二厂先一步于2021年完工，2022年开始供应台积电3奈米电子级化学品，同年即成为唯一一家荣获「供应商环安卫楷模奖」的供应链厂商。

超前部署　满足台积电需求

在长春集团总裁林书鸿带队之下，《财讯》独家进入从未对外曝光的长春彰滨二厂，这里专攻全球最先进的半导体化学品，也是现今长春在全球大发、苗栗、常熟、扬州、福建漳州之外，第6处电子级化学品厂区；第7处厂区位于美国亚利桑那州，预计在明年投产。

林书鸿带着《财讯》采访团队，走进高纯度双氧水、电子级双氧水、显影剂、PME（电子级丙二醇甲醚）、PAE（电子级丙二醇甲醚醋酸酯）、稀释剂等电子级化学品厂房参访。

为了供应3奈米制程所需的电子级化学品，长春在彰滨厂砸了大钱投资。首先是数位化系统，不仅监控中心可以显示厂区内各厂房的监控画面与关键数据，透过摄影机与气体侦测机等设备，可以运用最节省的厂区人力，实现强化管理。「彰滨厂数据做得比较完整。」长春集团最高顾问苏士光不讳言，彰滨是新厂，因此规画都采取最高标准。

《财讯》报导指出，其二是先进实验室，采购每台要价高达2千万元的质谱仪，用于金属分析，光是在彰滨厂的实验室就有多达5台；还有气相层析仪、原子吸收光谱仪数十台。

第三则是与无尘室产线直接连结的油罐车队。「3奈米制程的电子级化学品纯度已经要求达到兆分之一。」苏士光指出，所以过去油罐车是在厂房外灌充电子级化学品；现在则是无尘室产线投产完后，油罐车直接开进可直接连结无尘室产线的车库，直接灌充，降低杂质掺入污染产品的机率。

《财讯》也发现，目前长春在全台湾有超过6百辆国际罐式货柜（Iso TANK），而且每一辆油罐车的外部还有监测仪显示温度、压力与油量，但只有苗栗厂、彰滨厂区有油罐车与无尘室直接连结的设置。