地震问台积电 半导体微影设备连1千公里外的地震都感应得到

ASML（艾司摩尔）的晶片微影设备非常精密且敏感，就连1,000公里外的地震都感应得到，图为2020年12月ASML第100台EUV出货。（图／ASML脸书）

台湾靠着护国神山台积电的先进制程为台湾在世界半导体行业树立不可撼动的领先地位与重要性，其中靠的关键设备就是来自荷兰ASML（艾司摩尔）的晶片微影设备，这些微影设备精密而且敏感，就连1000多公里外的地震也可以侦测到。

艾司摩尔微影设备的精密及敏感程度，可以堪比是国家气象局的地震仪同等级，根据艾司摩尔表示，位于艾司摩尔荷兰费尔德霍芬（Veldhoven）市的总部微影设备，可以侦测到发生在克罗埃西亚（Croatia）的地震，从飞行的直线距离来看，克罗埃西亚与费尔德霍芬市，两地相差超过1000公里的距离。

艾司摩尔指出，当时克罗埃西亚地震发生的6分钟后，所有在费尔德霍芬市的深紫外光（DUV）设备原型，其Metroframe Airmounts模组都在同一个时间回报失衡的状况，这个反应速度和荷兰气象局的地震仪相同。

相同全球10大半导体厂皆为艾司摩尔的客户，以台积电为例，台积电目前拥有艾司摩尔总量一半的极紫外光（EUV）曝光机。2021年艾司摩尔EUV设备出货量预估至少为40台，其中台积电包下15台至20台，是最大客户。

EUV与DUV最大的差别在于光源波长，EUV是DUV的15分之1。2020年12月艾司摩尔第100台EUV微影设备从荷兰出货。

更多 CTWANT 报导