台積電:晶圓廠設備復原率逾70%

花莲近海上午7时58分发生规模7.2地震,并发生多起余震。台积电晚间表示,目前晶圆厂设备复原率已超过70%,晶圆18厂等新建的晶圆厂复原率,更已超过80%。

台积电指出,今天的地震在新竹、龙潭和竹南等科学园区最大震度为5级,台中和台南科学园区的最大震度为4级。

台积电表示,在台湾的晶圆厂工安系统正常,为确保人员安全,依公司内部程序启动相关预防措施,部分厂区在第一时间进行疏散,人员皆平安并在确认安全后回到工作岗位,详细影响正在确认中。

台积电指出,基于在地震应变和灾害预防上拥有丰富经验与能力,并定期进行安全演习以确保万全准备;目前晶圆厂设备的复原率已超过70%,新建的晶圆厂如晶圆18厂的复原率已超过80%。

台积电表示,虽然部分厂区的少数设备受损,并影响部分产线生产,但主要机台包含所有极紫外光(EUV)微影设备皆无受损;目前已有资源到位以加速达到全面复原,且持续复工中,台积电也与客户保持密切沟通,并继续密切监控并适时与客户直接沟通相关影响。