台积电新动向－南科再生水厂 预计3月试产

全球水情吃紧，台积电去年启动南科再生水厂建厂工程，为台湾第一座民营再生水厂，成为全球第一个导入工业再生水的先进晶圆厂。此外，台积电首创全物理性晶背研磨废水再生技术，再生高纯度工业级矽产品导入钢铁业，实现循环经济。

台积电在最新一期企业社会责任电子报中指出，南科再生水厂预计3月完成主体建筑后，安装系统、启动试产并持续调校，致力产出优于进水品质要求之再生水。此外，台积电以全物理压滤之晶背研磨废水再生技术取代添加化学药剂之混凝沉降法，处理半导体封装制程大宗废水的晶背研磨废水，截至1月已减省超过55公吨化学药剂用量，同时产制品亦由原本的无机性污泥，转化为有价的高纯度工业级矽产品。台积电去年12月已成功输出第一批矽产品，后续将应用于钢铁产业，做为炼钢用脱氧剂原料，用创新实现循环经济。

台积电去年7月晶背研磨废水资源化系统于先进封测三厂正式启动，截至今年1月共回收逾15,000公吨晶背研磨废水，成功产制30公吨工业级矽产品。同时，截至今年1月，晶背研磨废水资源化计划已为台积电增加约12,750公吨制程回收水量。