工研院AI设备预诊断技术 助攻半导体智动化

工研院研发AI人工智慧设备预诊断技术，提升先进制程精准度与良率。（工研院提供／邱立雅竹县传真）

高速、高智慧的检测技术已是现代化产线高产能的关键，在大数据分析、边缘运算与AI人工智慧协助下，许多半导体业者都从自动化迈向智动化，以智慧化提升产能与竞争力。工研院研发AI人工智慧设备预诊断技术，已导入全球半导体封测龙头日月光协同合作，以最迅速的速度提供最佳参数，提升先进制程精准度与良率。

人在生病前，身体会发出某些讯息，机器在故障前也存在某些讯号，工研院指出，若能提前掌握设备资讯，更精准掌握并分析庞大数据，就能及时进行设备维护、零件更换甚至人力调度，提高设备稼动率和降低设备维护成本，减少无预警异常造成的损失，产线人员不再分身乏术。

在智慧工厂趋势下，工研院的AI人工智慧设备预诊断技术，有如产线上的智慧纠察队，透过演算法进行深度学习，即可在产线直接判读瑕疵，更可建立一套完整的资料库，完整解决传统人为检查失误或品质不均问题。

该技术解决问题时间，可从30天缩短成1至5天，缩短超过50％，不但可提升半导体制程良率，未来可提升包括频率元件生产制造厂、多晶模组微小化构装制程厂、碳化矽晶圆检测、AiP载板检测、半导体先进封装测试检测等产线弹性化生产。

经济部工业局副组长吕正钦表示，在智慧工厂的趋势下，许多半导体厂纷纷采用AI人工智慧与机器学习协助导入半导体制程。日月光现导入工研院的AI人工智慧设备预诊断技术进入高阶先进制程，相信可以在既有的基础下，让制程更精准有效，让制程更具弹性与自主性。