工研院携手日本半导体厂德山 研发原物料品质检测技术
▲前排左起为德山台湾研究所课长林育如、德山台湾研究所所长北岛晃、工研院量测中心执行长林增耀、工研院量测中心副执行长蓝玉屏、工研院量测中心副执行长陈炤彰。（图／工研院提供）
工研院今（16）日宣布，携手日本半导体化材制造商德山株式会社（Tokuyama）共同研发半导体用原物料品质检测技术，快速筛选出原物料中的不纯物质，提升生产良率，未来将透过双方技术开发与紧密合作，成为国内半导体产业生产高品质与更高规格产品的强力后盾。
工研院量测技术发展中心执行长林增耀表示，自2018年起工研院就与日商德山进行交流，评估台湾半导体创新研发制程厂商的优势后，德山看准工研院拥有先进半导体奈米级品质检测技术，优化晶圆制程原物料的检测技术，希望提高原物料纯度与品质，有提高半导体元件微小化时的产品良率。
德山株式会社取缔役常务执行役员岩崎史哲提到，德山成立近百年，事业领域涵盖化学、特殊产品、水泥及医疗相关产品，这次因应半导体产业需求，与工研院展开长期合作，共同进行半导体用原物料即时品质检测技术研发。
岩崎史哲指出，以工研院所拥有的先进半导体奈米级检测技术，结合德山半导体化学材料相关产品技术，开发半导体产业所需的前瞻量测技术，期许共同创造半导体产业更先进制程微细化的技术蓝图，满足客户需求的实际运用，提升台湾半导体产业的国际竞争力。
工研院强调，接受经济部标准检验局委托运转「国家度量衡标准实验室」，除了致力在计量与标准的追溯外，也积极投入半导体产业包括薄膜、表面分析及粒子量测技术等研发，降低半导体晶圆污染风险，透过台日间的国际合作，为晶圆厂下世代微缩制程超前部署。