关键半导体设备 美仍未放行给中芯

大陆晶圆代工龙头中芯国际前景仍扑朔迷离，虽然日前陆续传出美国政府允许部份企业供货中芯，但知情人士透露，美国政府仍卡住如应用材料、科林（Lam Research）等关键半导体设备厂的许可，严格防范中芯国际发展先进制程。

近日市场频传中芯国际获得美国放行生产成熟制程产品，3日中芯也宣布延长与艾司摩尔设备的采购协议，为企业注入强心针，但在晶片短缺的背景下，美国却仍未完全松手。

路透4日引述知情人士说法称，在中芯国际被列入实体清单后，确实有许多美企立即获得许可证供货给中芯，但关键的是，仍有规模约50亿美元的美国零组件尚未得到批准，当中就包含应用材料、泛林等关键设备厂。

此前川普政府因涉及中国军方企业的疑虑，将中芯国际列入实体清单，此次也罕见地对于中芯国际的许可证申请采取逐案审查，并且一概拒绝涉及10奈米以下的先进制程产品。

外界原本观望拜登政府上台后会否放行中芯国际，但如今仍有部分许可证的下放仍未批准。知情人士称，许可证是否涉及10奈米技术方面可能是当中重点，官员询问美企产品会否被转用至这些先进制程，这项来回询问的程序，使许多美企申请的许可证一再被延后、搁置甚至延长审查期限。

报导引述科林发言人说法表示，公司仍在申请许可中，尚未收到回应。另外包括Entegris、KLA Corp、Axcelis Technologies等企业也都递交许可申请，但尚未得到美国商务部的回应。