「奈米极紫光」负负得正…秒数的负18次方 半导体再突破
▲清大光电所研发出更快、更亮的奈米极紫外光。（图／清大提供，下同）
「人类活在『秒』的世界，但奈米世界的时间是以『埃秒』（10的负18次方秒）」，清大光电工程所助理教授陈明彰成功创造更亮的奈米极紫外光（EUV），在奈米的「微」电影世界，半导体跟生医领域的研究又有重大突破，「这就像两人三脚的游戏，意外的负负得正」，未来的生活又往前一大步。
奈米世界的微小，需要更快、更亮的光源才有办法看到，但过去10年来一直没有办法提升18奈米紫外光的亮度，由于红外光与极紫外光以不同的相位速度前进，亮度无法累积；「就好像想玩两人三脚的游戏，但两者的步伐大小、速度都不同，不能一起抵达终点，亮度自然无法提升」，陈明彰说，再加上发光设备2、3个操场般大，更难普及应用。
3年前，陈明彰跟硕士生孙宏维与博士生黄旆齐一起实验，发现只要调整光圈大小，就能控制极紫外光的频宽和中心波长，同时增加空间解析度，加强供给红外光后，两个减少极紫外光的举动，变成「负负得正」的效果，成为美丽的巧合、突破传统的极限，让18奈米的光子数增强了4百倍。
「要亮度变亮，就要号召光子来参加，但人越多，两人三脚的游戏越难玩，光圈就像那个喊口号的人，控制大家的脚步，亮度就稳定提升了」；黄旆齐说，这套光源系统的体积已经缩小到2公尺左右，桌上型光源不是梦，国际半导体大厂近年极欲掌握极紫外光技术，在研发、检测、制程上能有更大的突破，生医界也可以此看到更微小的疾病细胞。