绕道也要发展陆制7奈米 中芯砸1亿留梁孟松 曝量产时间点

中芯国际。(图/中新社资料照)

大陆晶圆代工龙头中芯国际去年遭到美国商务部列入实体清单,美企被迫与该公司断绝业务往来,但是在拜登政府上台后,传出半导体生产设备有望出货给中芯国际,加上陆企广泛在市场上收购二手设备,以及与荷商艾司摩尔(ASML)签订采购合约,就算美企供或遥遥无期也能有解方。由于中芯国际为大陆少数拥有前进先进制程技术厂商,近期揭露资料显示,中芯国际联合首席执行长梁孟松获得40万股限制性股票市值约2400万元人民币(约1亿元新台币)。

从中芯国际发布的「2021 年第一次临时股东大会决议公告」,核准根据「2021 年科创板限制性股票激励计划内容,决议授予梁孟松40万股中芯国际A股限制性股票,若以6月25日收盘价来计算,换算价值为2372.4 万元人民币。

中芯国际去年下半年先是遭到美方列入出口管制措施,导致无法取得先进制程设备,更让14奈米制程之后的N+1、N+2制程研发受到影响,最后更是被列入贸易黑名单,要出货都须经过美国商务部核准。去年12月间,原台积营运长、前武汉弘芯执行长蒋尚义将回锅中芯国际,并担任该公司副董事长,却导致原为台积电前研发处长的梁孟松愤而递交辞呈。

蒋尚义在回锅中芯国际前也提到,将加强发展先进封装技术与小晶片研发,梁孟松则是坚持发展先进制程,最后双方似乎和解,并一同名列在中芯国际董事会上,一来中芯国际依靠自身实力深化成熟制程发展,并在今年3月公告,与独家供应紫外光(EUV)曝光设备的荷商艾司摩尔(ASML)签下一份12亿美元的深紫外光(DUV)微影设备订单

资深业界人士透露,除了EUV曝光机,中芯国际几乎取得可以拿到的所有型号曝光机,包括台积电在生产第一代7奈米制程(N7)使用的DUV曝光机,透过DUV的193nm浸润式ArF微影生产。不过,业界人士认为,使用DUV曝光机透过液体浸润多重曝光后虽能缩小线距,但要做到与EUV的13.5奈米波长等效,也就是达到台积电7奈米制程的良率成本,恐怕还有一大段距离,但这已经是面对美国禁令下可以采取的手段

据《新浪财经报导,梁孟松透露,目前中芯国际的28奈米、14奈米、12奈米以及N+1制程都进入规模量产,最新开发的7奈米制程也已经完成,预计2022年就可以投入风险量产。

梁孟松指出,至于5奈米、3奈米制程研发最关键的8大技术也已经展开计划,就等待EUV曝光机到来,实际上7奈米以下制程只落在开发阶段,因为缺少EUV曝光机。