首台 High-NA EUV 曝光機交貨 英特爾明年試產新製程

ASML在社群媒体中贴出首台Ｈigh-NA EUV交货至英特尔，设备大小跟货柜相去不远。图／翻摄自ASML社群平台X

艾司摩尔（ASML）在社群媒体上贴出，第一台高数值孔径极紫外光（High-NA EUV）曝光机台已经送货到英特尔（Intel），代表英特尔18A机台已经正式到位，明年第1季将可望顺利进入试产，四年五节点制程计划将持续执行。

ASML于昨日晚间在社群媒体中贴出 High-NA EUV 曝光机台已经送至英特尔，并贴出与公司员工的合影。据了解，High-NA EUV 曝光机将会被用在英特尔18A制程当中，该机台一台造价至少新台币50亿元以上，大小等同于一台货柜车大小。

英特尔接收该批设备后，预期将可望在明年第1季开始试产18A制程，最快将于明年下半年进入量产。业界指出，英特尔18A制程已经掌握数个电信及网通客户，届时将可望成为支撑英特尔晶圆代工事业未来几年营运动能。

据了解，英特尔在收到最新的 High-NA EUV 曝光机台后，代表先前喊出的四年五节点计划将持续推进。英特尔所谓四年五节点计划，包含了先前的 Intel 7、Intel 4、Intel，以及后续的20A、18A制程，但由于欧美的高昂人力成本，将使客户投片成本大幅增加，因此未来英特尔晶圆代工事业营运维持顺利，外界都在抱持观望态度。

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