亞東工業氣體碳捕捉設備落成 助力半導體先進製程

亚东工业气体碳捕捉设备今日落成启用。图／亚东气体提供

亚东工业气体今（24）日于桃园观音厂落成碳捕捉设备，透过二氧化碳回收制程，可提升现有之电子级氢气产量约 20%，并回收超过90%制程中产生的二氧化碳，回收的二氧化碳经过纯化，将供应给半导体客户的先进制程使用。本套设备可透过制程效率的提升，为半导体客户的先进制程提供高品质的产品，并透过制程效率的优化，落实亚东的减碳承诺。

亚东观音厂生产纯度99.9995%以上的电子级氢气供应半导体与面板产业。而透过此套碳捕捉设备的落成，亚东不仅可大幅度提升氢气产量，更回收超过九成的二氧化碳，再透过纯化制程，生产高纯度二氧化碳，供应半导体先进制程使用。

亚东工业气体总裁Olivier LETESSIER表示，作为全球工业气体的领导者与半导体产业最坚实的伙伴，亚东持续导入创新科技优化制程，提高生产效率，达到资源更有效的应用。透过此套碳捕捉设备的启用，我们得以提升产量，为客户提供更稳定、更充沛的高纯度氢气与二氧化碳产品并减少碳足迹。

延伸阅读