台积首创 晶圆自动进出货系统

台积电打造安全健康的职场环境，除开发全球首座「晶圆自动化收货入库系统」，有效降低库房员工95％搬运量，亦针对无尘室内的晶圆拆／包装作业建立「晶圆自动进出货系统」，减少人因性危害、优化输送效率，截至2022年1月，已全面导入台湾厂区8吋及12吋超大晶圆厂、先进封测二厂及三厂，平均每年减省1,300万次人工作业。

根据说明，各厂区所需的原物料晶圆，经码头入库区的自动化收货入库系统运送至无尘室后，由员工进行拆／包装、搬运上架与出货流程。为降低作业过程可能产生的人因风险，智能制造中心与Fab 14厂及Fab 15厂制造部、资材供应链管理处、智能工程中心于2015年启动「晶圆自动进出货系统」开发专案，透过盘点各厂区的人工作业流程后，化繁为简制定16道程序的自动化作业标准，携手供应商设计出可执行最佳切割路径的拆包设备，使拆包成功率达99％。

台积电并统一21家晶圆供应商的包装方式，借由大数据，分析精准掌握包装抽气量与热封温度，确保其品质稳定以及员工安全。系统上线后，整体作业效率提升70％，亦列为新建厂区标准设计。

除了透过晶圆自动进出货系统优化无尘室内的人工作业流程，台积电持续扩大自动化应用范围，智能制造中心与制造企划整合部于成品库房区导入晶圆纸箱包装与自动分拣系统，不仅减少成品库房员工每箱9公斤的包装分拣负重，亦提升晶圆运送驾驶员35％提货效率。预计于2022年第三季，完成与无尘室晶圆自动进出货系统的串接，达成晶圆进出全自动化管理，提供员工与承揽商更友善的职场环境。