雁默专栏》笑大陆光刻机落后？但台湾有吗？

光刻机类型。（图片来源：梓豪谈芯）

大陆光刻机实现飞跃性突破了吗？若有人想这样下标，请先定义「飞跃性」。如果这是指大陆有能力生产先进制程晶片所需的光刻机，那就没有「飞跃」，然而，公允地说，当前的进展确实是「重大突破」无误。

本文就定义何谓「重大突破」。

晶片行业在近年备受普罗大众关注，是从美国技术围堵中国大陆才开始的，此一领域内容复杂，大陆民众对技术端追根究底的意愿又十分强烈，因此关注焦点往往集中于一般人难以简单理解的参数上，许多人（包含时评人）为了赶热度，不免在技术端上被错误引导，最终以讹传讹。

最近大陆工信部公告并推广氟化氩光刻机，由于公布参数中有一相「套刻<=8nm」，被关心光刻机技术的大陆网民误认为技术已突破8nm制程，连外媒也搞不清楚状况加以渲染，于是兴奋感迅速传播，大有举国欢腾之势，致使陆媒不得不推出详细解释的文章，以正视听。

其实，我觉得大陆传媒给出的大部分解释，也是流于复杂，已经超过科普范围，所以我想给台湾读者比较「科普」的简洁说明。

简单说，目前大陆官方推广的是可实现55至65奈米的本土DUV光刻机，远不是8奈米。此其一。工信部推广的是两种DUV光刻机，氟化氩光刻机(Arf)以及氟化氪光刻机(Krf)，前者可粗略理解为65奈米，后者则是110奈米。

光刻机从低阶到高阶总共三大光源类型，依序为UV，DUV，EUV。而这三大类中，UV又分成g-line与i-line，DUV则分成 KrF、ArF(dry)、ArFi 。最先进的EUV也有三种规格，由于与本文较无关，就不细说。

工信部这次推广的是ArF(dry)以及KrF。在DUV这个领域，大陆还需突破到ArFi，其「可实现制程」可理解为45nm - 7nm。

技术科普到这里就可以了，讲太多对大众而言缺乏意义，也会侵蚀传播效力。

了解了设备先进程度，我们还需了解大陆官方所谓「推广」的意义。官方「推广」意味着此一技术已经可以量产，并可在国际接受市场考验。此外，这并不代表大陆没有突破到ArFi技术，只是还没到推广阶段。

从技术的眼光看，这是从零到一的进展，也就是最难的一关被突破了，此后的发展就是「升级」阶段，理论上会比「无中生有」快速得多。

因此之故，有些不入流的台媒嘲笑大陆光刻机还落后ASML15年，我也笑了，但笑的是台湾本土光刻机连一台都没有，却要笑人家有本土技术能力的。

真正该质疑的是，为何台积电没投资于光刻机研发。这答案其实我也有，即在国际分工时代，台湾不需要自己研发本土光刻机设备。只是，现在台积电被美国卡脖子了，为何还不投资于光刻机的从零到一？

接下来的说明才是本文重点——市场。

根据2022年数据，光刻机由三家公司垄断：ASML(市占82.1%)，佳能(市占10.2%)，尼康(市占7.7%)。

佳能的产品线主要是i-line与KrF，针对中低端市场，可实现制程为90奈米。尼康的产品线是i-line，KrF，ArF，ArFi，也是针对中低端市场，但有企图挑战中高阶市场，其ArFi 可实现制程为38奈米。ASML则生产全系列光刻机。

需要强调的是，光刻机市场目前仍以中低端为主，也就是UV与DUV为大宗，EUV销量其实不多，这与先进制程晶片占整体市占仅约3成相匹配。

仅从ASML 2022年销售来看，总销量449台，ArFi、ArF、KrF销售量分别为125台、32台、184台。换言之，大陆光刻机对ASML市占的威胁是ArF与KrF，以2022年数据看，大陆这两种DUV可威胁ASML全球近半(48%)的市占。当然，尼康与佳能就更别提了。

尼康光刻机的等级比佳能高，但2022年销量是45台，专攻中低阶光刻机的佳能却是187台，这么看就知道光刻机的市场主力确然是中低阶，而大陆当前推广的光刻机，白话说，就是最好卖的那一种。

再者，中国大陆与台湾是光刻机的主要买家(大陆买了50%的ASML设备)，若只看这两个市场，ASML将可能因大陆光刻机国产化而少掉20%销售额，甚至更多，因为大陆也可以推出政策，要求在大陆的台厂使用本土光刻机。

从ArF再升级至ArFi，自然不会比从零到1还要花更长的时间，而在此期间，大陆光刻机已可布局全球，用销量与利润来吸引投资，精进研发能力，攻坚EUV。

这意味着什么呢？直观来说，这意味着中国大陆的成熟制程晶片制造成本将更低，全球市占将更大，并将台韩与美欧围困在先进制程里。

因此，看技术的人会说，大陆还落后ASML 15年，但看市场的人会说，10年以内，ASML起码会少掉50%以上的市占。因为晶片产业是如此重要，想发展的国家并不止西方，而现在供应链的选项更多了。那么，ASML现在反对「技术围中」，未来就不一定了。

因此之故，称大陆光刻机发展已出现重大突破，毫不为过。

从最近英特尔的惨况可见，攻坚先进制程的风险有多大，任何厂商若盯着先进制程不放，而忽略了成熟制程「打底」的重要性，都有可能遭前后夹击，在销量与技术上双双落空。

如果先进制程晶片相关产品是「王冠上的明珠」，成熟制程晶片相关产品就是「王冠」，当前大陆工信部推广的本土ArF与KrF，就是王冠，可不是什么过气的工业制品。

这就能解释，为何ASML频频放话批评美国技术围堵中国，从第一品牌的角度看，美国完全是在「资敌」，刺激中国自主的同时，还让中方有光明正大的理由，政策性要求本土晶片厂购买本土光刻机，甚至借此推广到其他企图发展晶片业的友岸国家。

面向普罗大众，若要相对客观地阐述半导体产业发展，只讲技术不讲市场的报导或评论，就算是业内人士也纯属外行，谈产业要先以生意眼光看，然后才去看技术，因为技术靠研发，而研发靠营收。政府补贴不可能永远持续。

想减缓中国大陆的自主速度，唯有回到国际分工的轨道，但看样子是回不去了，就算美国放弃技术围堵，中国也不可能再冒着被卡脖子的风险而放弃自主之路。从这个角度看，中国的崛起，真该感谢美国。（作者为专栏作家）

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