沸石浓缩双转轮系统 台积新技术 废气削减99.5％

晶圆代工龙头台积电在绿色制造又有重大突破，领先业界开发沸石浓缩双转轮技术，废气削减率达99.5％，沸石浓缩双转轮系统将为未来新建厂区的标准设备，截至2020年已完成建置于Fab 15B厂及Fab 18A厂，预计2021年第一季完成Fab 18B厂建置。

此外，台积电2020年领先业界将低耗能管路加热系统导入先进制程，预计将于2025年进一步导入台湾全数12吋晶圆厂区及Fab 18B厂的3奈米与2奈米制程，每年预计将节省8,000万度电。

台积电以零排放为目标，致力发展空气污染防制技术，截至2020年挥发性有机气体的平均削减率连续第6年超过95％。针对挥发性有机气体削减，台积电各厂使用沸石浓缩转轮结合燃烧炉处理挥发性有机气体，其去除效率可达95～97％，远优于法令排放削减率应大于90％规范。

为进一步导入新技术优化防制设备效能，台积电厂务处携手供应商，领先国内采用沸石浓缩双转轮系统技术，将原经过第一道转轮吸附并燃烧后的高浓度制程废气，新增第二道转轮浓缩流程后再送回第一道转轮反复处理，成功使削减率达99.5％。沸石浓缩双转轮系统将为未来新建厂区标准设备，截至2020年已完成建置于Fab 15B厂、Fab 18A厂，预计2021年第一季完成Fab 18B厂建置。

台积电持续优化制程能源使用效率，2020年领先业界将低耗能管路加热系统导入先进制程，透过高效热绝缘体减少热散失，成功的使机台加热管减少约25％能耗。目前已导入Fab 15厂第7期厂区，预计将于2025年进一步导入台湾全数12吋晶圆厂区，以及Fab 18B厂的3奈米与2奈米制程，每年预计将节省8,000万度电。