台积电、英特尔EUV光罩盒都要靠他 家登无尘室曝光
供应全球晶圆大厂光罩盒的家登（3680）近期台南树谷厂产能建置完成，其厂房和光罩盒无尘室也悄悄曝光，《ETtoday新闻云》亲自走访这个生产出台积电、英特尔等大厂都必须要用到的关键材料厂房。
在台积电、三星、英特尔在角逐先进制程过程中，因极紫外光微影（EUV）技术能打破前一代微影技术的尺寸限制，此技术因而崭露头角，也让光罩传载盒（EUV Pod）成为当红炸子鸡，本土的家登和美商英特格（Entegris）是两大主力供应商。其中，家登的光罩盒全球市占率高达8成，还是台积电极紫外光（EUV）光罩盒独家供应商。
产能方面，光罩盒月产能最高达3500颗，其中EUV光罩盒月产能达1000颗，为迎接EUV设备带来的商机，在台南树谷、新北市土城扩厂，树谷厂产能已到位，土城厂则于近期动工，完工后月产能将达4500颗，EUV光罩盒估达1500颗。然而，由于EUV光罩盒毛利较高，与非EUV光罩盒营收占比为5比5，加上新增的树谷厂产能，今年可望冲上6成。
家登产品线以光罩盒和晶圆传送盒（FOUP）为主，营收占比为8：2，去年下半因中美贸易战，意外取得航太业的液压控制管件加工商机，去年9月已小量试产，预计第二季开始小量出货，明年可望有较显著的营收贡献。
▼家登光罩盒无尘室，下同。（图／业者提供）
▼家登树谷厂房鸟瞰图。（图／业者提供）
▼家登EUV光罩盒。（图／业者提供）
▼家登晶圆载具盒。（图／业者提供）