水情吃紧！半导体厂戒备　力求生产不受影响

▲水情吃紧，科技大厂高度警戒，逐步启动水车因应。（图／取自免费图库Pixabay）

文／中央社

水情吃紧，半导体制造厂无不高度戒备，不仅加强节水、提升用水 回收率，并备妥水车或已启动水车载水，预先做好相关规划，只求生产不受影响。

随着部分工业户节水率自25日起提高至11%，产能满载的晶圆代工与记忆体厂对于水情的警戒纷纷向上提 升，继台积电北、中、南部分厂区日前已开始执行以水车少量载水外，联电竹科厂也跟进启动水车载水。

台积电强调，并不是所有厂区都启动水车载水，仅是部分厂区执行，且属少量载水；一方面提高用水弹性 ，同时借以熟悉相关作业程序，预先做好规划。联电表示，水车载水除填补小缺口外，主要是考量 水情严峻，先试行水车载水。

据统计，25日出动不到10 辆水车载水。力积电与华邦电虽尚未启动水车载水，不过，皆已密切监控水情状况，并备妥水车，一旦有需要便可启动 载水应急。

华邦电指出，经过多年不断努力，至2019年全厂用 水回收率约82%，制程水回收率约91%。因应当前水情吃 紧情况，将进一步提升制程用水回收率，并减少厂内生 活用水及景观浇灌，降低全厂用水需求。

台积电一滴水使用3.5次，令各界印象深刻，2019 年总回收水量达1.33亿公吨，平均制程用水回收率约 86.7%。台积电订定的节水紧急应变计划，还包含厨房节水、停止自动浇灌系统、暂停外墙清洗、民生及厕所用水减压供应、暂停消防训练用水，并在不影响生产下 ，延长纯水及回收系统再生时间。

为降低自来水用水量，台积电积极承诺并使用工业废水与民生污水的再生水，2015年开始发展再生水技术，于2016年打造全国第1条半导体工业再生水试产线，回收处理工业放流水。

台积电2020年启动南科再生水厂建厂工程，为台湾 第1座民营再生水厂，预计今年3月完成主体建筑，随后将安装系统、启动试产并持续调校，致力产出优于进水品质要求的再生水，成为全球第1个导入工业再生水的先进晶圆厂。

为确保生产不受影响，半导体制造厂已纷纷拟妥应变措施，并依水情变化执行。业者表示，最终还是希望 水情能够早日缓解。

面对缺水问题，面板厂也在平日即采取利己且符合环保趋势的节水措施。友达光电指出，为做好废水回收再利用，龙潭厂2015年底已做到100%回收，至于其他厂区回收率高低不一，部分厂区回收率达90%以上。

友达表示，为避免缺水，除平日的雨水储留外，系统循环等废水再利用方式也已推展很久，不仅工程用水，生活用水也积极省水。

友达说，未缺水时已有专人在做水资源回收工作， 各厂区有储水池，透过不同时段运用，可应付缺水问题 ，一滴水甚至可使用高达11次；另外，子公司宇沛永续专门处理水资源循环业务，朝循环经济产业化发展。

面对水资源挑战，群创光电分析水资源风险冲击与 营运持续规划，聚焦节水及回收再利用，导入i-FM管理系统，精进水资源管理效率，更有效因应缺水危机，

群创指出，2019年节水专案已增设活性污泥膜滤设备（MBR），提高废水回收量，借由放流水导电度提高回收量。在生物废水回收工程方面，采用回收水系统砂滤单元逆洗水改管，进行回收循环再利用，并增设水质监控及管路回收生物废水。