找来蒋爸真能有EUV机台？ 中芯与ASML签12亿美元大单

中芯国际公告，与ASML签下12亿美元的订单。(图/达志影像)

陆晶圆代工龙头中芯国际近期被传出获得美方许可，可以供货成熟制程的半导体生产设备，虽然14奈米以下制程发展依然困难重重，但至少能让8吋晶圆产能恢复正常运作，预料全球晶片荒可以获得些许舒缓。中芯国际周三(3日)晚间公告，与独家供应极紫外光(EUV)曝光设备的荷商艾司摩尔(ASML)签下12亿美元(约338亿元新台币)合约，让外界议论纷纷。

中芯国际公告，在2020年3月16日至2021年3月2日期间，与ASML签订批量采购协议，购买约12亿美元半导体生产设备。由于与ASML的采购协议已经到期，该公司在今年2月1日重新签订契约，将原定于2018年1月1日至2020年12月31日期间，延长至2021年12月31日。

面对市场传闻美方禁令松绑，中芯国际回应，将携手全球产业链伙伴，保证该公司生产连续性及扩产规划不受影响。中芯国际表示，不确定性依然存在，该公司始终坚持依法合规经营，有信心保证公司短期内生产经营不受重大不利影响。

据陆媒报导，资深业界人士透露，除了EUV机台，中芯国际几乎取得可以拿到的所有型号曝光机，包括台积电在生产第一代7奈米制程(N7)使用的深紫外光(DUV)曝光机，透过DUV的193nm浸润式ArF微影生产。

早在去年下半年，ASML在上海国际进口博览会展出号称能用于7奈米制程的DUV机台，业界人士指出，DUV机台透过液体浸润多重曝光后虽能缩小线距，但要做到与EUV的13.5奈米波长等效，也就是达到台积电7奈米制程的良率与成本，恐怕还有一大段距离，但这已经是面对美国禁令下可以采取的手段。

中芯国际曾在2018年5月向ASML订购价值1.2亿美元EUV机台，却因瓦圣纳协定（Wassenaar Arrangement）以及美国政府在背后施压，导致无法履行该合约。由于EUV机台是发展先近制程的重要关键，台积电、三星电子等晶圆代工领导厂商无不与ASML保持良好业务关系，甚至在生产记忆体包括SK海力士，也积极向ASML订货。

为了EUV机台，中芯国际去年底找回台积电前营运长蒋尚义担任副董事长，却一度引发中芯国际首席联合执行长梁孟松不满，扬言请辞，让中芯国际高层大地震，最后在董座周子学等高层极力挽留，最后2人并列董事会成员，让该公司在先进制程以及成熟制程研发上双轨并行。

目前中芯国际在8吋晶圆、12吋晶圆都近行扩产，加上北京当局祭出10年28奈米制程以下免税计划，明显是为了扶持大陆半导体自主化进程。虽然从目前资讯来看，中芯国际还难以确认是否可以拿到EUV机台，但至少较去年遭美方追杀的困境来看，中芯国际已经找到新出路，并赶紧吃下目前全球晶片荒的商机。