茂丞超声波晶片 抢进国际会议

茂丞科技（深圳）总经理邱奕翔展示8吋晶圆制作之新一代微型超声波晶片。图／业者提供

茂丞科技（6663）成功研发出新一代微型超声波晶片量产技术，在八吋矽圆片上生产传输效率更高的氮化铝压电微机械超声波感测器（AlN pMUT）；尺寸可缩小至几百微米的AlN pMUT，可同时作为感测器及接收器，实现体积小、低功率消耗的「超声波飞行时间感测器」；日前在泰国曼谷IEEE-NEMS会议上，超声波技术成果获会议录用及发表三篇技术文章。

第十四届国际电气与电子工程师协会微纳工程与分子系统会议（简称IEEE-NEMS会议），4月11～14日于泰国.曼谷召开，此一会议为微／纳米机电系统（MEMS/NEMS）、微/纳米分子制造、纳米材料、分子感测器、致动器、微／纳米流体等领域之高水准重要国际学术会议，最新研究成果受到全球各地此一领域专家、学者关注与分享。

茂丞科技超声波技术负责人邱奕翔表示，茂丞科技（深圳）有限公司与北京大学深圳研究生院产学研合作下，针对AlN（氮化铝）压电微机械超声波感测器（pMUT）展开研究，在新结构器件关键技术开发上取得重要进展，成功实现八吋矽圆片制程的生产，并取得较高的超声波传输效率。AlN pMUT是一个多层薄膜结构，尺寸可缩小至几百微米级别，当受到周期性外部刺激（入射声波）激发时，可在弯曲模式下振动，从而在压电膜中产生弯矩并因此产生机械应力，由于直接压电效应，这种机械应力又转换成电荷，反之亦然，可作为感测器也可以作为接收器。此特性可实现体积小、低功率消耗的「超声波飞行时间感测器」。

董事长刘彦良表示，茂丞致力于新一代微型超声波技术研发，至今研发成果除2019 IEEE-NEMS国际会议发表之外，也将于5月美国拉斯维加斯召开的第六十九届国际电子元器件技术会议上接续发表。

刘彦良说，在重要国际会议上被录用与发表，彰显茂丞科技在超声波晶片技术上取得领先水准，目前超声波晶片技术也已完成多个国内外专利申请。未来新一代微型超声波商品化应用上能为无人飞行机、机器人、工业机械手臂提供低功耗、准确、不受环境光线、噪音影响的距离感测，也可用于智慧型手机于增强现实技术（AR）、虚拟实境技术（VR）之追踪观测物体。